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基于STM32離子注入機劑量檢測控制器的設計
DOI:
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作者:
作者單位:

長(cháng)沙大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院

作者簡(jiǎn)介:

通訊作者:

中圖分類(lèi)號:

TP273.5

基金項目:

湖南省教育廳重點(diǎn)科學(xué)研究資助項目(18A377),長(cháng)沙市重點(diǎn)科技計劃研發(fā)項目(K1705006) 。


Design of Dose Detection Controller Based on STM32 Ion Implanter
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    摘要:

    設計了一種基于STM8S208MBT6的離子注入機劑量檢測控制器,首先介紹了劑量控制器的整體設計和工作原理及如何實(shí)現離子束流精確檢測、按設定的劑量均勻地注入到晶片表面;然后對控制器的電流/電壓變換、峰值檢測、校準電流源、模/數轉換等硬件電路設計和控制軟件設計作了詳細的介紹;實(shí)驗結果表明該控制器實(shí)現了大范圍束流的快速量程切換,量程切換時(shí)間達到1ms以上,束流值測量精度最高達到0.01%,最小量程低至2uA;該控制器結構簡(jiǎn)單,工作穩定可靠,有廣泛的應用前景。

    Abstract:

    This paper designs a dose detection controller for ion implanter based on STM8S208MBT6. Firstly, it introduces the overall design and working principle of the dose detection controller and how to realize the accurate detection of ion beam current and uniformly inject ion dose into the wafer surface. Then it details hardware circuit design and control software design for current/voltage conversion, peak detection, calibration current source, analog/digital conversion of controller. The experimental results show that the controller achieves fast range switching over a wide range of beams. The switching time is more than 1ms, the measurement accuracy of beam value is up to 0.01%, and the minimum range is as low as 2uA. The controller has simple structure, stable and reliable operation, and has broad application prospects.

    參考文獻
    相似文獻
    引證文獻
引用本文

劉輝,謝明華,王新輝,周志英.基于STM32離子注入機劑量檢測控制器的設計計算機測量與控制[J].,2019,27(9):80-84.

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歷史
  • 收稿日期:2019-03-02
  • 最后修改日期:2019-04-11
  • 錄用日期:2019-04-12
  • 在線(xiàn)發(fā)布日期: 2019-09-24
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